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Areas of application 適用領(lǐng)域

? 用水處理半導(dǎo)體及面板制成氣體

? 易燃?xì)怏w如(SIH4，B2H6等)

characteristic 特點

? 使用場景：半導(dǎo)體廠中CVD端、廠務(wù)端特氣房，處理含PFC氣體為主

? 處理能力：常態(tài)為500-1500slm

? 適用溫度：350-850度

? 缽米優(yōu)勢：核心電加熱棒和陶瓷蓄熱材料為國產(chǎn)、自制,全部自主研發(fā)

Benefits 優(yōu)勢

? 該設(shè)備對于一些有毒氣體，特別是針對易燃?xì)怏w如SIH4，HCL 等，其處理效果極好

? 該設(shè)備裝有多重安全設(shè)施，可用于半導(dǎo)體行業(yè)各種工藝后尾氣處理

? 該設(shè)備出氣口前裝有氣水分離器，可以最大限度地減少水汽進(jìn)入排風(fēng)管

? 水循環(huán)系統(tǒng)被設(shè)置在機柜內(nèi)部，從而使設(shè)備占地最小化

? 該設(shè)備具有自清潔功能，可以防止反應(yīng)產(chǎn)物積聚在管道內(nèi)壁

? 加熱器供電系統(tǒng)的每一個相位都有傳感器，可以很方便地判斷加熱器故障情況

? 使用加熱控制控制加熱器電路，以最大限度延長加熱器壽命